Fotolitografi brukes ofte for å produsere databrikker. Ved produksjon av databrikker er substratmaterialet en resistdekket skive av silisium. Denne prosessen gjør at hundrevis av brikker kan bygges samtidig på en enkelt silisiumplate.
Hvordan gjøres fotolitografi?
Photolithography bruker tre grunnleggende prosesstrinn for å overføre et mønster fra en maske til en wafer: coat, develop, expose. Mønsteret overføres til waferens overflatelag under en påfølgende prosess. I noen tilfeller kan resistmønsteret også brukes til å definere mønsteret for en avsatt tynn film.
Hva er fotolitografi og hvordan fungerer det?
Photolithography er en mønsterprosess der en lysfølsom polymer selektivt eksponeres for lys gjennom en maske, og etterlater et latent bilde i polymeren som deretter kan løses selektivt for å gi mønstret tilgang til et underliggende underlag.
Hva er fotolitografi og hvordan brukes det til å implementere transistorer?
Den bruker lys for å overføre et geometrisk mønster fra en fotomaske (også k alt en optisk maske) til en fotosensitiv (det vil si lysfølsom) kjemisk fotoresist på underlaget. … Den gir nøyaktig kontroll over formen og størrelsen på objektene den skaper og kan lage mønstre over en hel overflate kostnadseffektivt.
Hvorfor kalles det fotolitografi?
Semiconductor Lithography(Photolithography) - The Basic Process . Fabrikasjonen av en integrert krets (IC) krever en rekke fysiske og kjemiske prosesser utført på et halvledersubstrat (f.eks. silisium). … Ordet litografi kommer fra det greske lithos, som betyr steiner, og graphia, som betyr å skrive.
