Fotolitografi brukes ofte for å produsere databrikker. Ved produksjon av databrikker er substratmaterialet en resistdekket skive av silisium. Denne prosessen gjør at hundrevis av brikker kan bygges samtidig på en enkelt silisiumplate.
Hvordan gjøres fotolitografi?
Photolithography bruker tre grunnleggende prosesstrinn for å overføre et mønster fra en maske til en wafer: coat, develop, expose. Mønsteret overføres til waferens overflatelag under en påfølgende prosess. I noen tilfeller kan resistmønsteret også brukes til å definere mønsteret for en avsatt tynn film.
Hvorfor kalles det fotolitografi?
Semiconductor Lithography (Photolithography) - The Basic Process . Fabrikasjonen av en integrert krets (IC) krever en rekke fysiske og kjemiske prosesser utført på et halvledersubstrat (f.eks. silisium). … Ordet litografi kommer fra det greske lithos, som betyr steiner, og graphia, som betyr å skrive.
Hvorfor er litografi viktig?
Litografi er prosessen med å overføre mønstre av geometriske former i en maske til et tynt lag med strålingsfølsomt materiale (k alt resist) som dekker overflaten av en halvlederplate. Figur 5.1 illustrerer skjematisk den litografiske prosessen som brukes i IC-produksjon.
Hvilken er den mest brukte metoden i litografiske metoder?
Optisklitografi er en fotonbasert teknikk som består av å projisere et bilde inn i en fotosensitiv emulsjon (fotoresist) belagt på et underlag som en silisiumplate. Det er den mest brukte litografiprosessen i høyvolumsproduksjon av nanoelektronikk av halvlederindustrien.
