Photolithography er en prosess som brukes i mikrofabrikasjon for å overføre geometriske mønstre til en film eller et underlag. Geometriske former og mønstre på en halvleder utgjør de komplekse strukturene som tillater dopingmidler, elektriske egenskaper og ledninger å fullføre en krets og oppfylle et teknologisk formål.
Hva er fotolitografiprosessen?
Photolithography, også k alt optisk litografi eller UV-litografi, er en prosess som brukes i mikrofabrikasjon for å mønstre deler på en tynn film eller hoveddelen av et substrat (også k alt en wafer). … I komplekse integrerte kretsløp kan en CMOS-wafer gå gjennom den fotolitografiske syklusen så mange som 50 ganger.
Hva er mikrofabrikasjonsprosessen?
Mikrofabrikasjon er prosessen for fremstilling av miniatyrstrukturer med mikrometerskalaer og mindre. … Hovedkonseptene og prinsippene for mikrofabrikasjon er mikrolitografi, doping, tynnfilm, etsing, liming og polering.
Hva er litografiprosess i halvledere?
Et halvlederlitografisystem gjennomfører en prosess der svært komplekse kretsmønstre tegnet på en fotomaske laget av en stor glassplate reduseres ved bruk av ultrahøyytelseslinser og eksponeres på et silisiumsubstrat kjent somen oblat. …
Hva er litografi i fabrikasjonsprosessen?
Litografi erprosessen med å overføre mønstre av geometriske former i en maske til et tynt lag med strålingsfølsomt materiale (k alt resist) som dekker overflaten til en halvlederplate. Figur 5.1 illustrerer skjematisk den litografiske prosessen som brukes i IC-produksjon.
