Hvilken av følgende beskriver best fotolitografiprosessen? en. Prosesstrinnet som overfører et mønster til et underliggende lag eller substratets bulk. … Prosesstrinnet som definerer og overfører et mønster til et resistlag på waferen.
Hva er fotolitografiprosess?
Photolithography er prosessen for å overføre geometriske former på en maske til overflaten av en silisiumwafer. Trinnene involvert i den fotolitografiske prosessen er rensing av wafer; dannelse av barrierelag; fotoresist applikasjon; myk baking; maskejustering; eksponering og utvikling; og hardbaking.
Hva er de tre 3 grunnleggende trinnene i fotolitografiprosessen?
Photolithography bruker tre grunnleggende prosesstrinn for å overføre et mønster fra en maske til en wafer: coat, develop, expose. Mønsteret overføres til waferens overflatelag under en påfølgende prosess.
Hva er fotolitografi beskrive med et eksempel?
1: litografi der fotografisk preparerte plater brukes. 2: en prosess som involverer fotografisk overføring av et mønster til en overflate for etsing (som ved å produsere en integrert krets) Andre ord fra fotolitografi Eksempelsetninger Lær mer om fotolitografi.
Hva er fotolitografikravene?
Generelt, enfotolitografiprosess krever tre grunnleggende materialer, lyskilde, fotomaske og fotoresist. Fotoresist, et lysfølsomt materiale, har to typer, positiv og negativ. Den positive fotoresisten blir mer løselig etter eksponering for en lyskilde.
